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EUV 포토마스크 제작과 펠리클 기술: 극자외선 노광 공정의 핵심 요소 EUV(Extreme Ultraviolet) 리소그래피는 반도체 미세공정의 한계를 극복하기 위해 도입된 차세대 노광 기술입니다. 13.5nm 파장의 EUV 광을 사용하여 초미세 패턴을 웨이퍼에 전사하는 이 공정에서는 포토마스크와 펠리클 기술이 결정적인 역할을 합니다. 본 글에서는 EUV 포토마스크의 제작 공정, 구조와 주요 기술적 도전 과제, 그리고 포토마스크를 보호하기 위한 펠리클의 역할과 기술적 난제를 자세히 알아보겠습니다.1. EUV 포토마스크의 제작 및 기술1.1. 포토마스크의 개념과 구조전통적인 노광 공정에서 사용되는 투과형 포토마스크와 달리, EUV 리소그래피는 EUV 광이 대부분의 재료에 의해 흡수되기 때문에 반사형 포토마스크가 사용됩니다.구조:기판: 보통 고순도의 플라스틱이나 유리 기판 대.. 2025. 2. 11.
반도체 고순도 특수가스 가격, 아르곤 플루오린 반도체와 디스플레이 제조 공정에서는 극한의 정밀도와 청정도가 요구됩니다. 이에 따라 공정에 사용되는 특수가스도 고순도로 공급되어야 하며, 그 품질과 순도가 생산성 및 제품 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. 이번 포스팅에서는 대표적인 고순도 특수가스인 아르곤과 플루오린의 사용 용도, 가격 결정 요인, 그리고 시장 동향에 대해 알아보겠습니다.1. 고순도 특수가스의 중요성반도체 및 디스플레이 제조 공정에서는 미세한 불순물 하나도 제품의 성능과 수율에 영향을 줄 수 있습니다.청정도 관리:고순도 특수가스는 ppm(백만분율) 또는 ppb(십억분율) 수준의 불순물까지 관리해야 하며, 이를 위해 정밀한 정제 공정과 엄격한 품질 관리가 필요합니다.공정 안정성:각 공정에서 사용하는 가스의 순도는 박막 증착, 식각, 도핑 .. 2025. 2. 11.
반도체 공정 총 정리: 장비, 엔지니어, 공정 순서, 설계, 도서, 주요 회사, 실습·교육 반도체 산업은 첨단 기술과 정밀한 공정 관리가 요구되는 분야입니다. 그 중심에는 반도체 공정장비가 있으며, 이 장비들은 웨이퍼 제조의 모든 단계를 지원하여 고품질의 반도체 제품 생산에 기여합니다. 본 포스팅에서는 반도체 공정장비의 개념부터 엔지니어의 역할, 공정 순서와 설계, 관련 도서와 회사, 그리고 실습 및 교육 프로그램에 이르기까지 전반적인 내용을 자세하게 정리해 보겠습니다.1. 반도체 공정장비란?반도체 공정장비는 웨이퍼 제조 공정에서 사용되는 다양한 기계와 도구를 의미합니다.주요 기능:웨이퍼 세정, 산화, 리소그래피, 식각, 도핑, 박막 증착, 금속화, 패키징 등 각 단계에서 정밀하게 작업을 수행합니다.공정의 정확도와 생산성을 결정짓는 핵심 설비로, 고도의 자동화와 정밀 제어 기술이 적용되어 있습.. 2025. 2. 11.
노로바이러스 감지 센서: 식품 안전과 위생 관리를 위한 기술 최근 식중독의 주요 원인 중 하나로 꼽히는 노로바이러스는 오염된 음식이나 물, 감염자의 구토 및 대변을 통해 전파됩니다. 특히 굴, 게장, 조개류 등 해산물을 섭취할 경우 감염 위험이 높아지는데, 이로 인해 식품 안전 관리의 중요성이 더욱 부각되고 있습니다. 이에 따라 노로바이러스 감지 센서 및 식품 안전 센서 기술이 빠르게 발전하고 있으며, 실시간 노로바이러스 모니터링과 예방 기술이 주목받고 있습니다.1. 노로바이러스와 식품 안전의 중요성노로바이러스는 감염력이 매우 강해 짧은 잠복기(12~48시간) 내에 급격한 구토, 설사, 복통 등의 증상을 유발합니다. 감염 시 탈수 증상 등으로 이어질 수 있어 조기에 감지하고 대응하는 것이 필수적입니다.전통적인 식중독 검사는 시간이 소요되며, 실시간으로 오염 여부를.. 2025. 2. 10.
의료용 압력 센서: 인공호흡기·혈압 측정 장비 혁신 기술 의료현장에서 정확한 측정은 환자 안전과 치료 효과에 직결됩니다. 인공호흡기, 혈압 측정 장비, 정맥 주사 시스템 등 다양한 의료 기기에 적용되는 의료용 압력 센서는 필수 부품으로, 높은 정밀도와 빠른 응답 속도를 바탕으로 안정적인 압력 제어를 지원합니다. 의료용 압력 센서의 개념, 주요 특징, 작동 원리, 응용 분야, 최신 동향 및 시장 전망을 살펴보고, 최근 주목받고 있는 플렉서블 의료용 센서에 대해서도 추가로 다루겠습니다.1. 의료용 압력 센서란?의료용 압력 센서는 병원 및 의료 기기 분야에서 압력이나 힘의 변화를 전기 신호로 변환하는 장치입니다. • 목적: 인공호흡기, 혈압 측정기, 정맥 주사 시스템 등에서 정확한 압력 측정을 통해 환자 치료의 안전성과 효과를 극대화합니다. • 응용 분야: 인공호흡.. 2025. 2. 9.
연속 혈당 센서(CGMS 센서) 당뇨관리 최신동향 개념 특징 정리 연속 혈당 센서(CGMS 센서)란?연속 혈당 센서는 당뇨병 관리에 필수적인 의료 기기로, 피부 아래에 부착하거나 이식하여 24시간 혈당 변화를 실시간으로 측정하는 장치입니다. 기존의 손가락 채혈 방식에 비해, 지속적이고 비침습적인 혈당 모니터링을 가능하게 하여 환자와 의료진 모두에게 유용한 데이터를 제공합니다.연속 혈당 센서의 주요 특징1. 실시간 혈당 모니터링 • 지속적인 측정: 하루 24시간, 주기적으로 혈당 수치를 측정하여 급격한 혈당 변동을 빠르게 감지합니다. • 데이터 기록 및 분석: 측정된 데이터는 스마트폰 앱이나 클라우드 서버에 저장되어 장기적인 혈당 추세 분석과 개인 맞춤형 치료 계획 수립에 활용됩니다.2. 비침습적 측정 방식 • 편리한 사용: 센서를 한 번 장착하면 여러 일 동안 지속적으.. 2025. 2. 9.

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